Silicon-carbon thin films deposited by excimer lamp-CVD from disilane and ethylene

  1. Redondas, X.
  2. González, P.
  3. León, B.
  4. Pérez-Amor, M.
Zeitschrift:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Datum der Publikation: 1999

Ausgabe: 52

Nummer: 1-2

Seiten: 51-54

Art: Artikel

DOI: 10.1016/S0042-207X(98)00232-2 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus