Silicon-carbon thin films deposited by excimer lamp-CVD from disilane and ethylene

  1. Redondas, X.
  2. González, P.
  3. León, B.
  4. Pérez-Amor, M.
Aldizkaria:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Argitalpen urtea: 1999

Alea: 52

Zenbakia: 1-2

Orrialdeak: 51-54

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/S0042-207X(98)00232-2 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus