Postdeposition annealing of pulsed laser deposited CNx films

  1. González, P.
  2. Soto, R.
  3. Lusquiños, F.
  4. León, B.
  5. Pérez-Amor, M.
Revista:
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

ISSN: 0734-2101

Ano de publicación: 2000

Volume: 18

Número: 6

Páxinas: 3004-3007

Tipo: Artigo

DOI: 10.1116/1.1312372 GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus