Pulsed laser deposition of a-CNx:H films: The role of target-to-substrate distance and laser fluence

  1. González, P.
  2. Soto, R.
  3. León, B.
  4. Pérez-Amor, M.
  5. Szörényi, T.
Zeitschrift:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Datum der Publikation: 2000

Ausgabe: 154

Seiten: 454-457

Art: Artikel

DOI: 10.1016/S0169-4332(99)00394-3 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus