Pulsed laser deposition of a-CNx:H films: The role of target-to-substrate distance and laser fluence
- González, P.
- Soto, R.
- León, B.
- Pérez-Amor, M.
- Szörényi, T.
Aldizkaria:
Applied Surface Science
ISSN: 0169-4332
Argitalpen urtea: 2000
Alea: 154
Orrialdeak: 454-457
Mota: Artikulua