Thermal annealing study of variable band-gap a-SiN:H alloy films

  1. Banerji, N.
  2. Faro, E.
  3. Serra, J.
Konferenzberichte:
Materials Research Society Symposium - Proceedings

ISSN: 0272-9172

Datum der Publikation: 2001

Ausgabe: 664

Art: Konferenz-Beitrag

DOI: 10.1557/PROC-664-A8.7 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus