Compositional, structural and optical properties of Si-rich a-SiC:H thin films deposited by ArF-LCVD

  1. López, E.
  2. Chiussi, S.
  3. Kosch, U.
  4. González, P.
  5. Serra, J.
  6. Serra, C.
  7. León, B.
Revista:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Ano de publicación: 2005

Volume: 248

Número: 1-4

Páxinas: 113-117

Tipo: Achega congreso

DOI: 10.1016/J.APSUSC.2005.03.011 GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus