Numerical analysis of Excimer laser assisted processing of multi-layers for the tailored dehydrogenation of amorphous and nano-crystalline silicon films

  1. Fornarini, L.
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  6. Martelli, S.
Zeitschrift:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Datum der Publikation: 2007

Ausgabe: 254

Nummer: 4

Seiten: 898-903

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.APSUSC.2007.08.070 GOOGLE SCHOLAR

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