FEM for modelling 193 nm excimer laser treatment of SiO2/Si/Si(1-x)Gex heterostructures on SOI substrates

  1. Conde, J.C.
  2. Martín, E.
  3. Chiussi, S.
  4. Gontad, F.
  5. González, P.
Zeitschrift:
Physica Status Solidi (C) Current Topics in Solid State Physics

ISSN: 1862-6351,  1610-1642

Datum der Publikation: 2011

Ausgabe: 8

Nummer: 3

Seiten: 936-939

Art: Artikel

DOI: 10.1002/PSSC.201000376 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus