Structure and composition of Silicon-Germanium-Tin microstructures obtained through Mask Projection assisted Pulsed Laser Induced Epitaxy
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- Chiussi, S.
Zeitschrift:
Microelectronic Engineering
ISSN: 0167-9317
Datum der Publikation: 2014
Ausgabe: 125
Seiten: 18-21
Art: Artikel