Structure and composition of Silicon-Germanium-Tin microstructures obtained through Mask Projection assisted Pulsed Laser Induced Epitaxy

  1. Stefanov, S.
  2. Serra, C.
  3. Benedetti, A.
  4. Conde, J.C.
  5. Werner, J.
  6. Oehme, M.
  7. Schulze, J.
  8. Wirths, S.
  9. Buca, D.
  10. Chiussi, S.
Revista:
Microelectronic Engineering

ISSN: 0167-9317

Año de publicación: 2014

Volumen: 125

Páginas: 18-21

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.MEE.2014.03.017 GOOGLE SCHOLAR