193 nm Excimer laser processing of Si/Ge/Si(100) micropatterns
- Gontad, F.
- Conde, J.C.
- Chiussi, S.
- Serra, C.
- González, P.
Revista:
Applied Surface Science
ISSN: 0169-4332
Any de publicació: 2016
Volum: 362
Pàgines: 217-220
Tipus: Article