193 nm Excimer laser processing of Si/Ge/Si(100) micropatterns

  1. Gontad, F.
  2. Conde, J.C.
  3. Chiussi, S.
  4. Serra, C.
  5. González, P.
Zeitschrift:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Datum der Publikation: 2016

Ausgabe: 362

Seiten: 217-220

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.APSUSC.2015.11.240 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus