Properties of amorphous silicon thin films grown in square wave modulated silane rf discharges

  1. Andújar, J.L.
  2. Bertran, E.
  3. Canillas, A.
  4. Campmany, J.
  5. Serra, J.
  6. Roch, C.
  7. Lloret, A.
Revista:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Any de publicació: 1992

Volum: 71

Número: 3

Pàgines: 1546-1548

Tipus: Article

DOI: 10.1063/1.351229 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus