Properties of amorphous silicon thin films grown in square wave modulated silane rf discharges

  1. Andújar, J.L.
  2. Bertran, E.
  3. Canillas, A.
  4. Campmany, J.
  5. Serra, J.
  6. Roch, C.
  7. Lloret, A.
Aldizkaria:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Argitalpen urtea: 1992

Alea: 71

Zenbakia: 3

Orrialdeak: 1546-1548

Mota: Artikulua

DOI: 10.1063/1.351229 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus