Properties of amorphous silicon thin films grown in square wave modulated silane rf discharges
- Andújar, J.L.
- Bertran, E.
- Canillas, A.
- Campmany, J.
- Serra, J.
- Roch, C.
- Lloret, A.
ISSN: 0021-8979
Datum der Publikation: 1992
Ausgabe: 71
Nummer: 3
Seiten: 1546-1548
Art: Artikel