Sealing of hard CrN and DLC coatings with atomic layer deposition

  1. Härkönen, E.
  2. Kolev, I.
  3. Díaz, B.
  4. Światowska, J.
  5. Maurice, V.
  6. Seyeux, A.
  7. Marcus, P.
  8. Fenker, M.
  9. Toth, L.
  10. Radnoczi, G.
  11. Vehkamäki, M.
  12. Ritala, M.
Revista:
ACS Applied Materials and Interfaces

ISSN: 1944-8244,  1944-8252

Any de publicació: 2014

Volum: 6

Número: 3

Pàgines: 1893-1901

Tipus: Article

DOI: 10.1021/AM404906X GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus