Sealing of hard CrN and DLC coatings with atomic layer deposition

  1. Härkönen, E.
  2. Kolev, I.
  3. Díaz, B.
  4. Światowska, J.
  5. Maurice, V.
  6. Seyeux, A.
  7. Marcus, P.
  8. Fenker, M.
  9. Toth, L.
  10. Radnoczi, G.
  11. Vehkamäki, M.
  12. Ritala, M.
Aldizkaria:
ACS Applied Materials and Interfaces

ISSN: 1944-8244,  1944-8252

Argitalpen urtea: 2014

Alea: 6

Zenbakia: 3

Orrialdeak: 1893-1901

Mota: Artikulua

DOI: 10.1021/AM404906X GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus