System for laser writing to lithograph masks for integrated optics

  1. Salgueiro, J.R.
  2. Roman, J.F.
  3. Moreno, V.
Revista:
Optical Engineering

ISSN: 0091-3286

Ano de publicación: 1998

Volume: 37

Número: 4

Páxinas: 1115-1123

Tipo: Artigo

DOI: 10.1117/1.601945 GOOGLE SCHOLAR

Obxectivos de Desenvolvemento Sustentable

Fonte de datos: Scopus