Low-temperature silicon oxide films deposited using a CO2 laser

  1. Fernández, D.
  2. González, P.
  3. Pou, J.
  4. León, B.
  5. Pérez-Amor, M.
Revista:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Any de publicació: 1992

Volum: 54

Número: C

Pàgines: 112-116

Tipus: Article

DOI: 10.1016/0169-4332(92)90028-V GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus