Low-temperature silicon oxide films deposited using a CO2 laser
- Fernández, D.
- González, P.
- Pou, J.
- León, B.
- Pérez-Amor, M.
ISSN: 0169-4332
Any de publicació: 1992
Volum: 54
Número: C
Pàgines: 112-116
Tipus: Article
ISSN: 0169-4332
Any de publicació: 1992
Volum: 54
Número: C
Pàgines: 112-116
Tipus: Article