Low-temperature silicon oxide films deposited using a CO2 laser
- Fernández, D.
- González, P.
- Pou, J.
- León, B.
- Pérez-Amor, M.
ISSN: 0169-4332
Datum der Publikation: 1992
Ausgabe: 54
Nummer: C
Seiten: 112-116
Art: Artikel
ISSN: 0169-4332
Datum der Publikation: 1992
Ausgabe: 54
Nummer: C
Seiten: 112-116
Art: Artikel