Low-temperature silicon oxide films deposited using a CO2 laser

  1. Fernández, D.
  2. González, P.
  3. Pou, J.
  4. León, B.
  5. Pérez-Amor, M.
Zeitschrift:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Datum der Publikation: 1992

Ausgabe: 54

Nummer: C

Seiten: 112-116

Art: Artikel

DOI: 10.1016/0169-4332(92)90028-V GOOGLE SCHOLAR
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