Low-temperature silicon oxide films deposited using a CO2 laser
- Fernández, D.
- González, P.
- Pou, J.
- León, B.
- Pérez-Amor, M.
ISSN: 0169-4332
Año de publicación: 1992
Volumen: 54
Número: C
Páginas: 112-116
Tipo: Artículo
ISSN: 0169-4332
Año de publicación: 1992
Volumen: 54
Número: C
Páginas: 112-116
Tipo: Artículo