Deposition of amorphous silicon nitride thin films by CO2 laser-induced chemical vapour deposition
- Serra, J.
- Szörényi, T.
- Fernández, D.
- González, P.
- García, E.
- Pou, J.
- León, B.
- Pérez-Amor, M.
Zeitschrift:
Journal of Non-Crystalline Solids
ISSN: 0022-3093
Datum der Publikation: 1995
Ausgabe: 187
Seiten: 353-360
Art: Artikel