Deposition of amorphous silicon nitride thin films by CO2 laser-induced chemical vapour deposition

  1. Serra, J.
  2. Szörényi, T.
  3. Fernández, D.
  4. González, P.
  5. García, E.
  6. Pou, J.
  7. León, B.
  8. Pérez-Amor, M.
Aldizkaria:
Journal of Non-Crystalline Solids

ISSN: 0022-3093

Argitalpen urtea: 1995

Alea: 187

Orrialdeak: 353-360

Mota: Artikulua

DOI: 10.1016/0022-3093(95)00163-8 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus