Hydrogen incorporation in silicon oxide films deposited by ArF laser-induced chemical vapor deposition

  1. Parada, E.G.
  2. González, P.
  3. Serra, J.
  4. León, B.
  5. Pérez-Amor, M.
  6. da Silva, M.F.
  7. Wolters, H.
  8. Soares, J.C.
Revista:
Journal of Non-Crystalline Solids

ISSN: 0022-3093

Ano de publicación: 1995

Volume: 187

Páxinas: 75-80

Tipo: Artigo

DOI: 10.1016/0022-3093(95)00115-8 GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus