Characterization of Si-rich a-Si 1-X N X :H alloys deposited by laser-CVD

  1. Banerji, N.
  2. Serra, J.
  3. Chiussi, S.
  4. Lusquiños, F.
  5. León, B.
  6. Pérez-Amor, M.
Revista:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Ano de publicación: 1999

Volume: 138-139

Número: 1-4

Páxinas: 383-387

Tipo: Artigo

DOI: 10.1016/S0169-4332(98)00430-9 GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus