Pulsed laser deposition of a-CNx:H films: The role of target-to-substrate distance and laser fluence
- González, P.
- Soto, R.
- León, B.
- Pérez-Amor, M.
- Szörényi, T.
Revista:
Applied Surface Science
ISSN: 0169-4332
Ano de publicación: 2000
Volume: 154
Páxinas: 454-457
Tipo: Artigo