Thermal annealing study of variable band-gap a-SiN:H alloy films

  1. Banerji, N.
  2. Faro, E.
  3. Serra, J.
Actas:
Materials Research Society Symposium - Proceedings

ISSN: 0272-9172

Ano de publicación: 2001

Volume: 664

Tipo: Achega congreso

DOI: 10.1557/PROC-664-A8.7 GOOGLE SCHOLAR
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