Numerical analysis of Excimer laser assisted processing of multi-layers for the tailored dehydrogenation of amorphous and nano-crystalline silicon films

  1. Fornarini, L.
  2. Conde, J.C.
  3. Chiussi, S.
  4. Gontad, F.
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  6. Martelli, S.
Revista:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Ano de publicación: 2007

Volume: 254

Número: 4

Páxinas: 898-903

Tipo: Artigo

DOI: 10.1016/J.APSUSC.2007.08.070 GOOGLE SCHOLAR
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