Numerical analysis of Excimer laser assisted processing of multi-layers for the tailored dehydrogenation of amorphous and nano-crystalline silicon films
- Fornarini, L.
- Conde, J.C.
- Chiussi, S.
- Gontad, F.
- Leon, B.
- Martelli, S.
ISSN: 0169-4332
Ano de publicación: 2007
Volume: 254
Número: 4
Páxinas: 898-903
Tipo: Artigo