Effect of hydrogen on surface texturing and crystallization of a-Si:H thin film irradiated by excimer laser

  1. Wang, H.
  2. Lusquiños, F.
  3. Lawrence Yao, Y.
Revista:
Applied Physics A: Materials Science and Processing

ISSN: 0947-8396 1432-0630

Any de publicació: 2012

Volum: 107

Número: 2

Pàgines: 307-320

Tipus: Article

DOI: 10.1007/S00339-012-6843-4 GOOGLE SCHOLAR