Effect of hydrogen on surface texturing and crystallization of a-Si:H thin film irradiated by excimer laser

  1. Wang, H.
  2. Lusquiños, F.
  3. Lawrence Yao, Y.
Zeitschrift:
Applied Physics A: Materials Science and Processing

ISSN: 0947-8396,  1432-0630

Datum der Publikation: 2012

Ausgabe: 107

Nummer: 2

Seiten: 307-320

Art: Artikel

DOI: 10.1007/S00339-012-6843-4 GOOGLE SCHOLAR
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