Study on excimer laser irradiation for controlled dehydrogenation and crystallization of boron doped hydrogenated amorphous/nanocrystalline silicon multilayers

  1. Gontad, F.
  2. Conde, J.C.
  3. Filonovich, S.
  4. Cerqueira, M.F.
  5. Alpuim, P.
  6. Chiussi, S.
Revista:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Any de publicació: 2013

Volum: 536

Pàgines: 147-151

Tipus: Article

DOI: 10.1016/J.TSF.2013.04.005 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus