Study on excimer laser irradiation for controlled dehydrogenation and crystallization of boron doped hydrogenated amorphous/nanocrystalline silicon multilayers

  1. Gontad, F.
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  3. Filonovich, S.
  4. Cerqueira, M.F.
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Zeitschrift:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Datum der Publikation: 2013

Ausgabe: 536

Seiten: 147-151

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.TSF.2013.04.005 GOOGLE SCHOLAR