Role of silylene in the deposition of hydrogenated amorphous silicon

  1. Dietrich, T.R.
  2. Chiussi, S.
  3. Marek, M.
  4. Roth, A.
  5. Comes, F.J.
Zeitschrift:
Journal of Physical Chemistry

ISSN: 0022-3654

Datum der Publikation: 1991

Ausgabe: 95

Nummer: 23

Seiten: 9302-9310

Art: Artikel

DOI: 10.1021/J100176A050 GOOGLE SCHOLAR
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