Role of silylene in the deposition of hydrogenated amorphous silicon

  1. Dietrich, T.R.
  2. Chiussi, S.
  3. Marek, M.
  4. Roth, A.
  5. Comes, F.J.
Aldizkaria:
Journal of Physical Chemistry

ISSN: 0022-3654

Argitalpen urtea: 1991

Alea: 95

Zenbakia: 23

Orrialdeak: 9302-9310

Mota: Artikulua

DOI: 10.1021/J100176A050 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus