Properties of amorphous silicon thin films grown in square wave modulated silane rf discharges

  1. Andújar, J.L.
  2. Bertran, E.
  3. Canillas, A.
  4. Campmany, J.
  5. Serra, J.
  6. Roch, C.
  7. Lloret, A.
Revista:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Ano de publicación: 1992

Volume: 71

Número: 3

Páxinas: 1546-1548

Tipo: Artigo

DOI: 10.1063/1.351229 GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus