Sealing of hard CrN and DLC coatings with atomic layer deposition

  1. Härkönen, E.
  2. Kolev, I.
  3. Díaz, B.
  4. Światowska, J.
  5. Maurice, V.
  6. Seyeux, A.
  7. Marcus, P.
  8. Fenker, M.
  9. Toth, L.
  10. Radnoczi, G.
  11. Vehkamäki, M.
  12. Ritala, M.
Revista:
ACS Applied Materials and Interfaces

ISSN: 1944-8244,  1944-8252

Ano de publicación: 2014

Volume: 6

Número: 3

Páxinas: 1893-1901

Tipo: Artigo

DOI: 10.1021/AM404906X GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus