Projecte d'investigació
IN-0078-01
EXCIMER LASER IRRADIATION OF A SIGE FILMS DEPOSITED ON SIO2/SI SUBSTRATES GROWN BY ENEA, INCLUDING THEIR CHARACTERISATION BY XPS, TEM, RAMAN TECHNIQUES AND THEIR DE HYDROGENATION
date_range
Duració del 07 de de maig de 2001 al 31 de de desembre de 2001
(8 mesos)
Va finalitzar
S'ha atorgat en règim de Concessió directa.
