Projet de recherche
IN-0078-01
EXCIMER LASER IRRADIATION OF A SIGE FILMS DEPOSITED ON SIO2/SI SUBSTRATES GROWN BY ENEA, INCLUDING THEIR CHARACTERISATION BY XPS, TEM, RAMAN TECHNIQUES AND THEIR DE HYDROGENATION
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Durée de 07 mai 2001 à 31 décembre 2001
(8 mois)
Il a été accordé sur une base Subvention directe.
