Proyecto de investigación
IN-0078-01
EXCIMER LASER IRRADIATION OF A SIGE FILMS DEPOSITED ON SIO2/SI SUBSTRATES GROWN BY ENEA, INCLUDING THEIR CHARACTERISATION BY XPS, TEM, RAMAN TECHNIQUES AND THEIR DE HYDROGENATION
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Duración del 07 de mayo de 2001 al 31 de diciembre de 2001
(8 meses)
Finalizó
Se ha otorgado en régimen de Concesión directa.
