Improvement of silicon oxide film properties by ultraviolet excimer lamp annealing

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Zeitschrift:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Datum der Publikation: 1995

Ausgabe: 86

Nummer: 1-4

Seiten: 294-298

Art: Artikel

DOI: 10.1016/0169-4332(94)00433-1 GOOGLE SCHOLAR
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