Improvement of silicon oxide film properties by ultraviolet excimer lamp annealing

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Revista:
Applied Surface Science

ISSN: 0169-4332

Año de publicación: 1995

Volumen: 86

Número: 1-4

Páginas: 294-298

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/0169-4332(94)00433-1 GOOGLE SCHOLAR
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