Silica deposition by excimer-laser-induced chemical vapour deposition in perpendicular configuration
- Leon, Betty
- Klumpp, Armin
- Gonzalez, Pio
- Parada, Eduardo G.
- Fernandez, Dolores
- Pou, Juan
- Serra, Julia
- Sigmund, Hermann
- Perez-Amor, Mariano
ISSN: 1057-9257
Any de publicació: 1996
Volum: 6
Número: 2
Pàgines: 83-92
Tipus: Article