Silica deposition by excimer-laser-induced chemical vapour deposition in perpendicular configuration
- Leon, Betty
- Klumpp, Armin
- Gonzalez, Pio
- Parada, Eduardo G.
- Fernandez, Dolores
- Pou, Juan
- Serra, Julia
- Sigmund, Hermann
- Perez-Amor, Mariano
ISSN: 1057-9257
Año de publicación: 1996
Volumen: 6
Número: 2
Páginas: 83-92
Tipo: Artículo