Silica deposition by excimer-laser-induced chemical vapour deposition in perpendicular configuration

  1. Leon, Betty
  2. Klumpp, Armin
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  4. Parada, Eduardo G.
  5. Fernandez, Dolores
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  9. Perez-Amor, Mariano
Revista:
Advanced Materials for Optics and Electronics

ISSN: 1057-9257

Año de publicación: 1996

Volumen: 6

Número: 2

Páginas: 83-92

Tipo: Artículo

DOI: 10.1002/(SICI)1099-0712(199603)6:2<83::AID-AMO225>3.0.CO;2-P GOOGLE SCHOLAR
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