Silica deposition by excimer-laser-induced chemical vapour deposition in perpendicular configuration

  1. Leon, Betty
  2. Klumpp, Armin
  3. Gonzalez, Pio
  4. Parada, Eduardo G.
  5. Fernandez, Dolores
  6. Pou, Juan
  7. Serra, Julia
  8. Sigmund, Hermann
  9. Perez-Amor, Mariano
Zeitschrift:
Advanced Materials for Optics and Electronics

ISSN: 1057-9257

Datum der Publikation: 1996

Ausgabe: 6

Nummer: 2

Seiten: 83-92

Art: Artikel

DOI: 10.1002/(SICI)1099-0712(199603)6:2<83::AID-AMO225>3.0.CO;2-P GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus