Modification of silicon nitride films to oxynitrides by ArF excimer laser irradiation

  1. Serra, J.
  2. Parada, E.G.
  3. González, P.
  4. Fernández, D.
  5. Chiussi, S.
  6. Pou, J.
  7. León, B.
  8. Pérez-Amor, M.
Revista:
Surface and Coatings Technology

ISSN: 0257-8972

Any de publicació: 1996

Volum: 80

Número: 1-2

Pàgines: 211-215

Tipus: Article

DOI: 10.1016/0257-8972(95)02714-9 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus