Modification of silicon nitride films to oxynitrides by ArF excimer laser irradiation

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  8. Pérez-Amor, M.
Zeitschrift:
Surface and Coatings Technology

ISSN: 0257-8972

Datum der Publikation: 1996

Ausgabe: 80

Nummer: 1-2

Seiten: 211-215

Art: Artikel

DOI: 10.1016/0257-8972(95)02714-9 GOOGLE SCHOLAR
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