Modification of silicon nitride films to oxynitrides by ArF excimer laser irradiation

  1. Serra, J.
  2. Parada, E.G.
  3. González, P.
  4. Fernández, D.
  5. Chiussi, S.
  6. Pou, J.
  7. León, B.
  8. Pérez-Amor, M.
Revista:
Surface and Coatings Technology

ISSN: 0257-8972

Año de publicación: 1996

Volumen: 80

Número: 1-2

Páginas: 211-215

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/0257-8972(95)02714-9 GOOGLE SCHOLAR
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