Comparison of pulsed laser deposition CNx films grown from organic and inorganic targets

  1. González, P.
  2. Soto, R.
  3. León, B.
  4. Pérez-Amor, M.
Revista:
Journal of Vacuum Science and Technology, Part A: Vacuum, Surfaces and Films

ISSN: 0734-2101

Any de publicació: 2001

Volum: 19

Número: 2

Pàgines: 499-502

Tipus: Article

DOI: 10.1116/1.1344908 GOOGLE SCHOLAR
Font de les dades: Scopus