Comparison of pulsed laser deposition CNx films grown from organic and inorganic targets
- González, P.
- Soto, R.
- León, B.
- Pérez-Amor, M.
ISSN: 0734-2101
Datum der Publikation: 2001
Ausgabe: 19
Nummer: 2
Seiten: 499-502
Art: Artikel
Zeitschrift:
Journal of Vacuum Science and Technology, Part A: Vacuum, Surfaces and Films